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这种设备,原理和构造,并不是什么秘密。甚至国外顶尖制造公司的制造图纸,我们都可以搞到。
可是,仅仅如此,离着能够自己制造,还差着十万八千里。
就比如郑国霖去欧洲寻找的那个透镜和光源过滤晶体,原理上我们都明白,可是我们制造不出来,还是等于零。
另外,微进给系统,从软件到硬件,我们生产的东西,精度上根本达不到要求,人家国外不卖给你,你还是不能制造。
还有传感器,定位系统,等等一系列的高科技产品。
怎么弄到手,怎么把这些东西合理地组合起来,达到光刻机所需要的动作精度,这都是很大的难题。仅仅凭借制造图纸或者知道构造原理,是根本无法仿制的。
国外买来的光刻机,都带有防拆系统,不是你想拆开研究就能拆开的。
这就需要各种不同的科研部门,进行分门别类的去研发。
郑国霖投资三个亿给光机所,就是为了获得一块合格的透镜。这也仅仅是他庞大投资的一小部分,其余需要投资得地方,实在是太多太多了,依靠他一个人的资金,是根本做不到的。