第645章郑通元详说光刻机，国泰摸到门了 (第3/5页)
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“......就这样，徐总工团队经过一年多时间的舍命付出，终于在1971年成功研制出我国第一台光刻机和分布重复照相机，并迅速投入规模生产，供应全国半导体行业使用，为民生工业和军事工业持续提供‘心脏’动力......就在去年，那位执政之后非常重视科技，此项成果终于荣获全国科技大会奖。徐总工团队也终于获得了应有的荣誉......这台光刻机也被称为我国第一代光刻机。它让我国的工控芯片跟上了10微米制程的世界主流水平......”
郑通元徐徐吐出一口气，总结说道。
“郑大哥，既然那台光刻机被称为第一代，其实也就意味着有第二代对吧？这方面你能稍微说说吗？”
听得心驰神往的陈国泰深吸了一口气，顺势说道。
“这个......具体的研发过程肯定不能说。不过表面上的大体情况还是可以透露一些......徐总工取得成功之后，并没有就此止步不前。从75年开始，他带领团队采用直接在半导体晶片上光刻集成电路的方法，投入了对‘自动对准分步投影光刻机’的研究。这项研究被称为第二代光刻机。预计成功之后会让我国的芯片制程突破微米级，正式扣响纳米级的大门。因为它加工的最细线宽能达到零点八微米，也就是800纳米......”
郑通元继续叙述，却在具体进展上停了下来。
陈国泰很是理解地点了点头，知趣地没有追问。
不过结合他前世所能记忆的模糊信息，他已经把本国光刻机的前期发展过程基本理顺。
郑通元提到的这台‘第二代光刻机’大约会在明年研究成功，并且在以后相当长时间里都一直保持在世界一线行列。
随后一些年又完成了一些改进，制程基本突破微米级，被称为第三代，一直属于世界一流水平。
